微调阀用于精密的控制微小的流量（或泄漏率），以调节系统真空度或满足其它特殊的工艺需求。

安捷伦蓝宝石密封精密微调阀最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于压力低至 1E-11 mbar 的超高真空环境，并耐受高达 450 摄氏度的烘烤。

工作原理

该微调阀内部有一块具有光学级平面的蓝宝石（Sapphire），和一套精密的位置调整机构。位置调整机构由一个精密细牙螺杆和一个高倍率杠杆机构组成，该机构的省力倍数高达13,000:1，可以非常精密的调整蓝宝石的平面和与其相对的金属垫之间的距离，从而调整通过他们之间的流量，或者形成完全无摩擦、无咬合和无断裂的密封。

阀门调整机构

阀门内部的蓝宝石和与其相对的金属垫片紧密贴合之后，阀门就处于关闭状态。已经处于关闭状态的阀门不可以再继续拧紧，否则会造成螺纹或者蓝宝石阀头损坏。

为了避免此类现象发生，阀门在出厂时已经设置好了停止位置，即两个圆螺母（NOBS）已经锁紧在调整螺杆（FINE DRIVE SCREW）的某一点上，使得阀门在关闭后无法再继续拧紧。使用时请捏住两个螺母一起转动（顺时针流量减小，逆时针流量增大），不要随意将它们松开或调整位置。

若阀门使用一段时间后出现拧到最紧后仍然无法密封，或者想把停止位置设定为某一个固定的流量（漏率），可以参考使用说明书，并按照说明书中描述的步骤进行调整。

使用注意事项

微调阀的调整螺纹为精密细牙螺纹，大力旋转或者螺纹处润滑不良时会造成螺纹损坏，请小心调整并定期涂抹附送的润滑脂。该润滑脂为可以耐受烘烤的高温润滑脂，请勿用其它润滑脂替代。

当需要对关闭状态的阀门进行烘烤时，有可能需要重新设置停止位置（请参见说明书“烘烤程序”一节）。

当微调阀的流量低于 1E-9 mbarl/s 时，可凝蒸气和污染物有可能会堵塞阀内的微小间隙。对此类应用，微调阀必须在开启状态下真空烘烤至 250° 并保持30分钟，以去除内部吸收的蒸气。

对于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通过微调阀的气体必须不含可凝性蒸气，或者通过干燥装置（比如液氮冷阱）对进气进行处理后再接入微调阀。分子筛捕集阱也可用于干燥气体，但必须使用过滤器以确保没有筛子颗粒进入微调阀。

环境温度的变化会引起流量（泄漏率）的变化（温度升高时，泄漏率增加），如果泄漏率的变化对您正在进行的实验来说是不可接受的，就应该使用一些温度控制的手段——将阀门加热并将其温度维持在略高于最高室温的某个值。

免责声明：市场有风险，选择需谨慎！此文仅供参考，不作买卖依据。

关键词：