2023年3月1日-3月3日，第十三届中国国际纳米技术产业博览会(以下简称纳博会)在苏州国际博览中心顺利举行。本次纳博会首次增扩20%展览面积，展览总面积达22000平方米，汇集了300多位业内知名专家，2000多家产业机构。

(资料图片仅供参考)

纳博会于2010年首度推出，迄今已成功举办十二届，为纳米产业提供了产品展示、市场推广、新品发布、合作交流的重要平台，有效推动了纳米技术应用推广与国际合作。

此次第十三届纳博会，重点聚焦MEMS制造、柔性印刷电子、纳米大健康、纳米压印、半导体器件加工、分析测试、第三代半导体、纤维材料、凝胶材料、磁珠材料等技术应用方向，纵向覆盖纳米技术产业链条，为企业提供技术展示、产品推广的平台，为客户提供一个与企业面对面洽谈交流的机会。

在本次第十三届纳博会现场，除了精彩的学术讲座以外，还汇聚了不少业内优秀企业。迪合光电科技(上海)有限公司(以下简称“迪合光电”)也携带了多款优良产品亮相本次纳米技术领域盛会，充分展现企业风采。

迪合光电是LEICA光学仪器在江浙沪工业区域的徕卡显微镜总代理，以经营、开发、应用、服务于一体的上海自贸区企业，致力于为工业，电子制造业和科研领域用户提供显微光学检测和自动影像测量、计量、分析及过程控制等解决方案。迪合光电始终秉承“诚信、服务、专业、创新”的经营理念，拥有高素质的专业人员为客户提供优质的售前、售中、售后服务，并可应客户要求开发或共同开发其他应用光学产品，为广大的国内生产和科研用户提供与同步的专业服务，更好地创造产品价值和顾客价值。

全能型 Wafer Loader + 德国光学 Leica Microscope DM8000M

全能型 Wafer Loader + 德国光学 Leica Microscope DM8000M

该产品为超强的半导体晶圆装载机系列，能够将直径为6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的晶圆转移到LEICA DM8000M显微镜上。支持半导体晶圆前图案侧、后周边和中心区域检测。可自动或手动设置晶圆旋转速度和倾斜角度。

该款产品拥有高效、安全的全自动晶圆传送，并且具备大尺寸触控屏幕，中文/英文操作界面，操作简单、易学易用。该系统可以兼容第一~第三代材料，包括不透明材质、半透明材质以及全透明材质的晶圆。该系统可以升级成为全自动检测系统(可以选配AOI/AI智能检测软件)，可以针对特殊工艺晶圆、特殊标记Mark、双平边晶圆等进行相应的扩展或者改造，可以选配SMIF系统、SECS/GEM。

Leica DVM6 徕卡视频显微镜

Leica DVM6 徕卡视频显微镜

DVM6数码显微镜是一款多样化的解决方案，可帮助实验者在研究样本时获得深入的认识，由于操作方便，实验者可以专注于自己的工作，同时通过可重现的成像条件提高结果的可靠性。DVM6数码显微镜可以轻松快捷地从宏观转向微观，并且能够调节低倍、中倍、高倍物镜。

DVM6倾斜功能从-60°到+60°的不同视角观察样本，能够观察到难以发现的细节，只需旋转和移动载物台，即可到达70毫米x50毫米行程范围内的任何一点，从不同角度探索样本。即使在倾斜过程中，样本也始终保持对焦，因为倾斜轴与焦点对齐。DVM6还能够通过可重现的成像条件提高结果的可靠性。

徕卡Emspira 3数码显微镜

徕卡Emspira 3数码显微镜

Emspira 3在同一个系统中结合了执行全面的目视检查所需的所有功能，包括比较、测量和文档共享。它能够检查不同的样本，快速达到高要求、高通量的目标。同时，Emspira 3有助高效做出决定，让实验者获益于文档的安全存储和轻松分享——无论以独立模式还是与计算机相连进行检查。Emspira 3设计坚固，同样可以让实验者在生产和实验室环境中充满信心地专注于自身的检查工作。

Emspira 3可以完成复杂的目视检查任务，无需使用计算机，而且还能减少工作中的混乱。其中集成的屏幕菜单式调节方式(OSD)可提供独立运行的直观工具。Emspira 3还使用了条形码，使得产品中的扫描仪能够快速记录和识别样本。并且通过自动记录所采集图像的识别码，始终可以从图像追溯到样本。

关键词： 纳米技术 解决方案 的可靠性