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2022年8月5日，真空技术行业中国主导制定的ISO 24477：2022《磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度》(Vacuum technology - Vacuum gauges - Specifications , calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges)正式发布实施。该标准定义了磁悬浮转子真空计的相关术语，规定了在应用过程中需要给定的参数和详细的校准步骤，以及需要考虑的不确定度分量。

该标准由李得天院士挂帅，中国航天科技集团有限公司五院510所牵头负责，东北大学、兰州文理学院、沈阳真空技术研究所、北京卫星环境工程研究所、中国计量科学研究院等共同参与制定。ISO 24477：2022的发布，实现了我国在该领域国际标准方面“从0到1”的突破。

据了解，国际标准制定过程大致分为6个阶段，即提案阶段、准备工作草案阶段、技术委员会草案阶段、征询意见草案阶段、批准阶段和印刷发行出版阶段。一项国际标准从提出文稿到批准为标准大致需要36个月以上。

2019年6月，国际标准化组织真空技术委员会(ISO/TC112)在日本京都召开了工作年会。基于510所和李得天院士在真空测试领域的国际影响力，此次会议上中国争取到ISO 24477国际标准的主导制定任务。经过历时3年的精心组织实施，先后于2019年10月提交了工作草案(WD)并正式立项，2020年12月通过技术委员会草案阶段(CD)投票，2021年8月进入征询意见草案阶段(DIS)，2022年3月进入批准阶段(FDIS)，2022年8月进入最终印刷发行出版阶段(ISO)。此项标准在制定过程中，共有来自中国、德国、日本、美国、瑞士等计量技术机构科研单位的几十位专家学者参与了交流讨论。团队针对各国专家提出的意见建议逐一进行了答复并得到专家一致认可。

在全球认可和非认可的校准服务中，磁悬浮转子真空计(magnetic suspension spinning rotor vacuum gauge)被广泛用作标准真空计。ISO 24477：2022标准定义了磁悬浮转子真空计的相关术语，规定了在应用过程中需要给定的参数和详细的校准步骤，以及需要考虑的不确定度分量。以规范如何正确校准磁悬浮转子真空计，以及如何用作标准真空计。这对于在所有应用领域进行的真空工艺过程，尤其是对于半导体工业、光伏、镀膜工业、航空航天、核工业等高真空应用领域，能够实现真空量值溯源具有举足轻重的意义。同时，也是对我国真空测试计量领域话语权和实力的肯定与展示。

参考来源：科技日报

关键词： 国际标准 磁悬浮转子真空计 技术委员会